Машина для нанесення покриття

Розпилення проміжної частоти також є різновидом магнетронного розпилення.

Існує багато типів магнетронного напилення, які можна розділити на магнетронне напилення постійного струму, радіочастотне магнетронне напилення та магнетронне напилення середньої частоти відповідно до використовуваного джерела живлення. Джерело живлення, яке використовується для магнетронного розпилення постійного струму, є джерелом живлення постійного струму високої напруги, зазвичай 300-1000 В, яке характеризується швидкою швидкістю розпилення, низькою вартістю та дешевим обслуговуванням у подальшому. Однак напилювати можна лише металеві мішені. Якщо мішень є ізолятором, у міру розпилення мішень буде накопичувати велику кількість заряду, що призведе до неможливості продовження розпилення. Тому магнетронне розпилення постійного струму зазвичай використовують для металевих мішеней. Завдяки невисокій вартості і простій конструкції він широко використовується в промисловості. Частота радіочастотного джерела живлення, що використовується для радіочастотного магнетронного напилення, зазвичай становить 13,56 МГц, що може вирішити проблему, коли магнетронне напилення постійного струму не може розпилювати ізоляційні мішені. Характеристики радіочастотного магнетронного напилення такі: можна напилювати як ізоляційні мішені, так і металеві мішені, і міцна адгезія між плівкою та підкладкою. Однак через складну конструкцію та пристрій, високу ціну джерела радіочастотного живлення, високу вартість обслуговування, випромінювання для людського тіла та необхідність зовнішньої узгоджувальної мережі він не підходить для промислового виробництва. Магнетронне розпилення середньої частоти часто використовується для реактивного розпилення для отримання плівок металевих сполук. На додаток до аргону, невелика кількість реакційноздатних газів, таких як азот, кисень тощо, додається в порожнину, щоб осадити молекули цих реакційноздатних газів з атомами матеріалу мішені. на підкладку, щоб утворити металеву складову плівку. Оскільки магнетронне напилення постійного струму широко використовується в промисловості, стіл магнетронного напилення включає в себе вакуумну систему, систему напилення покриття, газ і систему керування.

застосування

Параметр

Наша компанія

Популярні Мітки: Машина для нанесення покриття, Китай, постачальники, виробники, фабрика, індивідуальні, купити, ціна, котирування